Морфометрія та механічні властивості плівок карбону, отриманих магнетронним депонуванням в атмосфері аргону

Abstract

У роботі за допомогою вдосконаленої технології отримання стабільного плазмового розряду в робочій камері ВУП5М здійснено напилення тонких плівок карбону. Досліджено структуру та механічні властивості тонких плівок карбону. Установлено, що за цих технологічних умов утворюються аморфні структури карбону. Виявлено, що ці плівки карбону досить «м’якимі» й володіють добрими пружними властивостями. ; Carbon thin films have been deposited by usage of an advanced technology for stable plasma discharge in the vacuum chamber of VUP5M. The structure and mechanical properties of carbon thin films have been studied. Carbon films, formed under such technological conditions, have amorphous structure. It was found, that carbon films are very “soft” and have good elastic properties.